经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。
我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
GBJ73-84规定的洁净度等级
| 等级 | 每立方米（升）空气中≥0.5μm尘粒数 | 每立方米（升）空气中≥5μm尘粒数 |
| 100 | ≤35*100 （3.5） | |
| 1000 | ≤35*1000（35） | ≤250（0.25） |
| 10000 | ≤35*10000（350） | ≤2500（2.5） |
| 100000 | ≤35*100000（500） | ≤25000（25） |
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